Cedrat Technologies, innovation in mechatronicsCedrat Technologies, innovation in mechatronics

Cedrat Technologies, innovation in mechatronics

Piezotische

Mainly based on the APA® concept, CEDRAT TECHNOLOGIES has developed different mechanisms in order to fulfill its customers' requests for several degrees of freedom kinematics. These mechanisms take advantage of the APA® concept offering a reliable, robust, precise and compact solution to its users. The Commercially Of The Shelves (COTS) Solutions for X, XY & XYZ stages are presented below. A dedicated brochure “XY stages Heritage” presents the customized and OEM XY stages solutions already delivered by CTEC to the Space, Electro-Optic & Scientific Instrumentation markets.

  • X piezo stages: single axis piezo stages take advantage from the characteristics of APA® actuators and flexure guiding to offer excellent compactness, robustness, bandwidth and resolution,
  • XY piezo stages: the two axis stages can be equipped with strain gauges for very fine positioning or closed loop control,
  • XYZ piezo stages: two axis stages can receive athird motion axis for three degrees freedom.

To obtain more information on our products feel free to ask for our Piezo & Magnetic Products Catalogue and/or contact us.

Piezoelektrische Stufe - X60S

Beschreibung

Die piezoelektrische Stufe X60S hat einen Hub von maximal 110 µm entlang der X-Achse und kann mit Dehnungsmessstreifen für feinste Präzision bis zu 10 nm ausgestattet werden.

Leistung

Max. unbelastete Bewegung (µm): 55; Höhe (mm): 12; Maße (mm): 30*30; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 1840; Ansprechzeit (ms): 0,17

Verfügbare optionen

Dehnungsmessstreifen, Vakuum

Zustand

Zustand

Piezoelektrische Stufe - X120S

Beschreibung

Die piezoelektrische Stufe X120S hat einen Hub von maximal 110 µm entlang der X-Achse und kann mit Dehnungsmessstreifen für feinste Präzision bis zu 10 nm ausgestattet werden.

Leistung

Max. unbelastete Bewegung (µm): 138; Höhe (mm): 12; Maße (mm): 30*30; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 850; Ansprechzeit (ms): 0,59

Verfügbare optionen

Dehnungsmessstreifen, Vakuum

Zustand

Zustand

Piezoelektrische kreuztisch - XY25XS

Beschreibung

Der piezoelektrische kreuztisch XY25XS basiert auf den Stellantrieben APA 25XS. Die kompakte kreuztisch XY25XS ist hervorragend für integrierte Vorrichtungen zur Faserpositionierung und zum Mikroscannen geeignet.

Leistung

Max. Bewegung (µm): 25; Maße (mm): 20*50*50; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 3000;

Verfügbare optionen

Dehnungsmessstreifen, Vakuum, Wirbelstromsensor

Zustand

Standard

Piezoelektrische kreuztisch - XY200M

Beschreibung

Der piezoelektrische kreuztisch XY200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen Maskenpositionierung, Atomkraft- und Rastertunnelmikroskope.

Leistung

Max. unbelastete Bewegung (µm): 200; Maße (mm): 22*100*100; Auflösung (nm): 2,0; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 580;

Verfügbare optionen

Dehnungsmessstreifen; Wirbelstromsensoren, Vakuum

Zustand

Standard

Piezoelectric stage - XYZ200M

Beschreibung

Der piezoelectric stage XYZ200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen konfokale Mikroskopie, Maskenpositionierung, Inspektion

Leistung

Max. unbelastete Bewegung (µm): 180; Maße (mm): 44; Maße (mm): 100*100; Auflösung (nm): 1,8; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 380; Ansprechzeit (ms): 1,32

Verfügbare optionen

Dehnungsmessstreifen; Wirbelstromsensoren, Vakuum

Zustand

Standard