Mainly based on the APA® concept, CEDRAT TECHNOLOGIES has developed different mechanisms in order to fulfill its customers' requests for several degrees of freedom kinematics. These mechanisms take advantage of the APA® concept offering a reliable, robust, precise and compact solution to its users. The Commercially Of The Shelves (COTS) Solutions for X, XY & XYZ stages are presented below. A dedicated brochure “XY stages Heritage” presents the customized and OEM XY stages solutions already delivered by CTEC to the Space, Electro-Optic & Scientific Instrumentation markets.
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Die piezoelektrische Stufe X60S hat einen Hub von maximal 110 µm entlang der X-Achse und kann mit Dehnungsmessstreifen für feinste Präzision bis zu 10 nm ausgestattet werden.
Max. unbelastete Bewegung (µm): 55; Höhe (mm): 12; Maße (mm): 30*30; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 1840; Ansprechzeit (ms): 0,17
Dehnungsmessstreifen, Vakuum
Zustand
Die piezoelektrische Stufe X120S hat einen Hub von maximal 110 µm entlang der X-Achse und kann mit Dehnungsmessstreifen für feinste Präzision bis zu 10 nm ausgestattet werden.
Max. unbelastete Bewegung (µm): 138; Höhe (mm): 12; Maße (mm): 30*30; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 850; Ansprechzeit (ms): 0,59
Dehnungsmessstreifen, Vakuum
Zustand
Der piezoelektrische kreuztisch XY25XS basiert auf den Stellantrieben APA 25XS. Die kompakte kreuztisch XY25XS ist hervorragend für integrierte Vorrichtungen zur Faserpositionierung und zum Mikroscannen geeignet.
Max. Bewegung (µm): 25; Maße (mm): 20*50*50; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 3000;
Dehnungsmessstreifen, Vakuum, Wirbelstromsensor
Standard
Der piezoelektrische kreuztisch XY200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen Maskenpositionierung, Atomkraft- und Rastertunnelmikroskope.
Max. unbelastete Bewegung (µm): 200; Maße (mm): 22*100*100; Auflösung (nm): 2,0; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 580;
Dehnungsmessstreifen; Wirbelstromsensoren, Vakuum
Standard
Der piezoelectric stage XYZ200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen konfokale Mikroskopie, Maskenpositionierung, Inspektion
Max. unbelastete Bewegung (µm): 180; Maße (mm): 44; Maße (mm): 100*100; Auflösung (nm): 1,8; Unbelastete Resonanzfrequenz (Hz): 380; Ansprechzeit (ms): 1,32
Dehnungsmessstreifen; Wirbelstromsensoren, Vakuum
Standard
X60S.exe
X60S.pdf
X60S.step
X60S.pdf