Cedrat Technologies, innovation in mechatronicsCedrat Technologies, innovation in mechatronics

Cedrat Technologies, innovation in mechatronics


Beschreibung

Der piezoelektrische kreuztisch XY200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen Maskenpositionierung, Atomkraft- und Rastertunnelmikroskope.

AUFFÜHRUNGEN

Max. unbelastete Bewegung Dimension Unbelastete Resonanzfrequenz Ansprechzeit
200 µm 100*100*22 mm 580 Hz 0.86 ms

Verfügbare optionen

  • Dehnungsmessstreifen
  • Vakuum
  • Wirbelstromsensor

Zustand

Standard