Cedrat Technologies, innovation in mechatronicsCedrat Technologies, innovation in mechatronics

Cedrat Technologies, innovation in mechatronics


Beschreibung

 

Der piezoelectric stage XYZ200M basiert auf den Stellantrieben APA 200M und besitzt eine hohe Steifigkeit. Ihre Anwendungen umfassen konfokale Mikroskopie, Maskenpositionierung, Inspektion.

AUFFÜHRUNGEN

Max. unbelastete Bewegung Dimension Unbelastete Resonanzfrequenz Ansprechzeit
200 µm 100*100*49 mm 380 Hz 1.32 ms

Verfügbare optionen

  • Dehnungsmessstreifen
  • Vakuum
  • Wirbelstromsensor

Zustand

Standard