FSPA35XS
L’actionneur piézo à pas fin (FSPA35XS) est un actionneur breveté qui combine la technologie SPA et la réduction mécanique. Des tailles de pas inférieures à 100 nm sont réalisables en déplacement fin. La vitesse maximale typique pour ce FSPA est de 200 um/s.
| Force d'actionnement | |
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| Plage de déplacement | |
| Durée de vie typique | |
| Options disponibles | |
| Statut |
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Innovation
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